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NTNはフラットパネルディスプレー(FPD)の基板生産工程で発生する回路断線の修正用途を想定した「微細パターン描画装置」を開発した。最小で回路線幅3マイクロメートル(マイクロは...

スクリーン印刷は、微細回路形成で主流のフォトリソグラフィー法に比べて低コストで破棄材料も少ないが、狭ピッチ化が課題だった。タッチパネルや太陽電池などの回路向けに自社製印刷機とセットで普及を図る。...

回路線幅の微細化に対応する先端製品がけん引している格好だ。... 半導体製造用フォトレジストは、回路線幅を微細化するために短波長化してきた露光装置の光源に合わせて開発してきた。... 今年から本格的に...

参加企業をさらに増やし、燃料電池やカーエレクトロニクスなどに用いる次世代シートデバイス実現に不可欠な微細回路形成、低温接合、薄膜化といった要素技術の確立を目指す。... 微細回路形成、低温接合、薄膜化...

だが、微細化の鉄則にも陰りが見え始めた近年、この性能限界を突破すると期待される新材料が登場した。... 小田教授は「現在のシリコン微細回路で欠点となる量子効果を、ネオシリコンは積極的に利用する。......

半導体露光装置メーカー3社が開発を進めている回路線幅32ナノメートル(ナノは10億分の1)の次世代半導体に対応した新型露光装置の概要が明らかになった。... 32ナノメートルの微細回路...

微細回路を計測するX線解析測定技術(XRD)と、厚さ1ナノメートル(ナノは10億分の1)の薄膜を計測できるX線反射率測定技術(XRR)により、シリコン・...

ピコリットル(ピコは1兆分の1)単位で微細ノズルから多様な溶液を吐出できる「パルスインジェクター(PIJ)システム」が、協和界面科学(埼玉県新座市)の理...

32ナノメートルでは、露光の光源波長が回路線幅より太くなり、微細回路を形成できない。... ウエハー大口径化と回路微細化を同時に進めると、設備稼働率の向上が問われる。 ... 微細な回路パター...

チップ上の回路線幅を30ナノメートル(ナノは10億分の1)台まで微細化した次世代半導体を共同開発するほか、松下の魚津工場(富山県魚津市)、ルネサスの那珂事業所(...

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