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[ 科学技術・大学 ]
シリコンウエハーの厚み、光で高精度計測 産総研
(2018/9/5 05:00)
産業技術総合研究所ナノスケール標準研究グループの平井亜紀子研究グループ長と長さ標準研究グループの尾藤洋一研究グループ長らは、シリコンウエハーの厚みを高精度に計測...
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(2018/9/5 05:00)
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