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パナソニックとIMEC、共振特性高く低電圧駆動のMEMS共振器（2010/12/7）

三角柱形状のシリコン単結晶振動部と、シリコンゲルマニウム薄膜を利用した真空パッケージ技術で実現した。... 薄膜生成とエッチング技術の工程を繰り返し、シリコン単結晶振動部やポリシリコン電極などを作って...

光から必要なX線だけより分けて、シリコン単結晶で反射させ、10メートル先の1点に光を集める。直径100ミリメートルの単結晶シリコンの凹面基板の表面に、0・6ミリメートル四方、高さ3ミリメートルの四角柱...

今年度「現代の名工」、神戸製鋼・綱川さんら150人（2010/11/10）

放射光X線分光に使うシリコン単結晶の低歪高精度加工に卓越したワザを持つ「X線応用装置組立・調整工」の渡辺秀さん(NEC・グリーンイノベーション研究所所属)。

日本カーボン、節電・断熱性を両立させた炭素繊維材を発売（2010/10/19）

半導体ウェハーのシリコン単結晶製造用や太陽光発電のシリコン鋳造用などの高温炉向けに提供する。

福田結晶技術研究所(仙台市青葉区、福田承生社長、022・303・0170)は、シリコン単結晶作製に使われる引き上げ法のCZ法による8インチ径のサファイア単結晶作製に着手した。... サ...

産総研、光走査素子を開発−25キロヘルツ超の速度（2010/2/12）

実用化に必要な25キロヘルツ以上の走査速度を達成、従来のシリコン製から金属製に改良して耐久性を高め、製造コストを10分の1にした。... 既存の素子はシリコン単結晶を使うが、今回は本体を構成する部材に...

国内では新日本製鉄やブリヂストンなどが、単結晶ウエハーの生産を始めている。... 昇華法は原料となるSiC粉末に高熱を加えて気化させ、それを種結晶に再結晶化させて単結晶のインゴット(塊)...

岩谷産業はガスクラスター化するだけでシリコン基板などにエッチングできる技術を開発した。... シリコン単結晶でのエッチング速度は従来比4倍となる1分当たり40マイクロメートル(マイクロは100...

生田精密研磨、フッ化カルシウム結晶体の非球面レンズ開発（2008/12/18）

フッ化カルシウム結晶体のレンズは、紫外線から赤外線領域まで対応できる透過性を持ち、高額なカメラなどに使われる。ただ温度変化に弱く、結晶の結合のズレによる割れを生じやすい。 ... これにより、...

これまでシリコン単結晶炉は手がけているが、多結晶太陽電池の普及に伴い事業領域を広げる。... 現在、実用化されている太陽電池の8割程度が結晶系シリコン型。結晶系には単結晶型と多結晶型があり、多結晶型は...