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記事検索結果
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ヴァイサラ(東京都千代田区、ヴェリ・ソレフマイネン社長、03・5259・5960)は、恒温恒湿チャンバー向けの組み込み型湿度温度モジュール「HMM170=写真」を発売した。
今回、チャンバー内でマイナス100度Cで5気圧のヘリウムガスを安定的に循環させる機構により冷却効率を向上した。
日立ハイテクノロジーズは、半導体ウエハーの加工精度を向上できる半導体製造装置用モジュール「チャンバー」を開発した。... 開発したチャンバーは、日立ハイテクノロジーズのエッチング装置「9000シリーズ...
ワンタッチでダクトとチャンバーを接続でき、空調設備を施工する際の工数と時間を削減できる。... 誰でも精度の高い接続ができるチャンバーの開発で、現場の人手不足解消に貢献したい考えだ。 ...
従来の低圧プラズマ処理のように対象物を入れるチャンバーは不要なためインライン上で処理でき、プロセスを短縮する。
国際宇宙ステーション(ISS)では原則火気の使用は禁止されているので、燃焼実験を行うには非常に厳しい安全要求を通す必要があり、このチャンバーがその危険性から私たち宇宙飛行士を守ってくれ...
その一方で、現地では新型ディスプレー開発に必要なチャンバーなどの設備需要が活発化し、同分野の部材や部品の加工が増えている。
【設計しやすい真空環境提案−芝浦メカトロ】 芝浦メカトロニクスの小型真空応用装置(写真)は、JIS8インチフランジを4面備えた角型チャンバー構造で、設計しやすい真空環...
従来、ITO透明電動膜は真空・高温度下で成膜する必要があったが、特許によりスパッタリングする際にアルゴンや酸素などのガス流量を変化させ、チャンバーの電圧・圧力を変えることで常温成膜できる。
東京エレクトロン宮城(宮城県大和町、伊藤博道社長、022・346・3000)は、半導体生産に使うエッチング装置向けプロセスチャンバーを累計5000台出荷し、このほど記念式典を開いた&#...
新型IGSは小型化によってチャンバー直結の配管レスが可能となり、より精密なプロセス管理が実現できる。
これにより、呼気をためるチャンバー(空間)と吐き出すファンをなくし、小型で低消費電力にできた。
真空バルブとチャンバー間の位置合わせ調整時に取り付け誤差を吸収する装置で、ガラス基板の大型化による大口径サイズのニーズの増大を受け、重量を同社従来比35%低減した。
これを受けて2015年度後半には開発が加速する見通しで、研究用機の約2・3倍の大きさとなる1次試作機は、レーザーを操作する速度を高めたり、チャンバー内での工夫など仕掛けを施している。 ...
