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[ 機械 ]
フジキン、集積化ガス供給システムを小型化－チャンバー直結で半導体の歩留まり改善
(2016/6/6 05:00)
【東大阪】フジキン（大阪市北区、野島新也社長、０６・６３７２・７１４１）は、従来機種の半分に小型化した小型集積化ガス供給システム（ＩＧＳ）を開発した。半導体製造プロセスに各種ガスを供給する。小型化により作業チャンバーへの直結設置を実現でき、微細加工の歩留まり改善につながる。すでに...
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(2016/6/6 05:00)
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