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米国で開催中の「MEMS(微小電気機械システム)国際会議」で16日発表する。

独自の微小電気機械システム(MEMS)を採用、ガス供給圧力などの変動の影響を受けずに安定した制御を実現した。

オムロンは10日、中華圏における年率20%以上の成長や微小電気機械システム(MEMS)など新事業拡大を盛り込んだ08年4月からの3カ年中期経営計画を発表した。... 主にMEM...

オムロンが微小電気機械システム(MEMS)事業を加速する。... 継続して新規デバイスの開発、MEMSを組み込んだシステムの提案などに力を注ぐ。

東京大学の下山勲教授らは、微小電気機械システム(MEMS)センサーを使いインパクトの瞬間のゴルフクラブヘッドに働く力を計測する手法を開発した。

CE、VC、VSの3シリーズと近年、微小電気機械システム(MEMS)技術を応用し開発した高機能のMCシリーズの製造4部門で、業務改革を進める。

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