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【日立造船/高性能成膜装置を展示】 日立造船は高性能ロールツーロール成膜装置をパネル展示する。同装置はスマートフォンや液晶テレビ、太陽光パネルなど幅広い分野の製造プロセスに...
■執行役員研究開発本部材料技術開発研究所長 西川公人氏 【横顔】「七転び八起き」をモットーに、セラミック材料開発、化合物半導体や新材料の成膜装置事業などに長く携わる。
半導体製造装置メーカーが絶好調だ。... 検査装置や成膜装置などを手がける日立ハイテクノロジーズは、米国や台湾の拠点で顧客向けのデモ装置を増やす。... 最先端の成膜技術とそれを活用した高機能製品、新...
【高知】高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンターと住友重機械工業技術研究所は、成膜プロセスと連続して材料や成膜した薄膜を低温・高速に酸化する技術を開発した。プラズマ薄膜成膜装置内で酸素負イオン...
日立ハイテクノロジーズは半導体ウエハーの成膜装置事業で、フィンランドのピコサンと協業する。ピコサンの成膜装置に日立ハイテクのプラズマ技術を組み合わせ、プラズマ原子層堆積(PE―ALD)...
今後、価格が1000万―3000万円程度の塗布成膜装置を新たに商品化し、年間3億円の売上高を目指す。 ... 同社はこの薄膜積層工法や塗布重量自動計測のノウハウを...
一方、IoT向けでは先端技術を活用する半導体は少なく、製造装置も先端装置に比べて安価で利幅が薄い。... 日立国際電気はAI技術を活用した成膜装置を開発中。ウエハー上の膜の性能変化などを把握できるよう...
今回は、真空ポンプや真空計、成膜コントローラー、リークディテクターなど各種真空コンポーネントのほか、電子部品向け製造装置、真空蒸留装置、真空用材料など、同社およびグループ企業の新製品や充実したラインア...
各種部品の低温耐久性検査、細胞の保存などに用いるチラー(冷却装置)の代替需要を見込む。... これまでに取り組んだ新規事業のうち、ダイヤモンド厚膜合成(コーティング)な...
【千葉】ナノテック(千葉県柏市、中森秀樹社長、04・7135・6111)は、異なる物性のダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜を1台で成膜できる...
スラリー調製タンクや塗布装置のほか、乾燥機、成形機、焼成炉、積層機を導入し、焼成は従来のバッチ式から連続式にした。紙を巻き取り搬送するなど自社のロール・ツー・ロール成膜装置の技術も利用した。 ...
キヤノンアネルバ(川崎市麻生区、酒井純朗社長、044・980・5111)は、半導体製造で使う成膜装置向けの隔膜真空計「キャパシタンスゲージ=写真」の新製品を発売した。 ...
神戸製鋼所はダイヤモンド・ライク・カーボン(DLC)膜の成膜速度を5倍以上に高めた成膜装置を投入した。... DLC成膜装置は自動車部品や工具、金型などの表面にDLC膜をコーティングし...
子会社のTOTOマテリア土岐工場(岐阜県土岐市)に成膜装置とハンドリング用のロボットを導入し、量産を始めた。 ... 30秒に1枚のペースで成膜できる。... 成膜技...
同社は半導体製造装置メーカーで、太陽電池成膜装置の製造販売も手がけている。今回新たな成膜方式で形成される成膜装置の開発をしている。
半導体装置メーカー各社が、世代の一つ古い200ミリメートルウエハー向け装置で新製品を投入する動きが相次いでいる。ニコンはウエハーに回路パターンを描く露光装置の新製品の開発を準備、東京エレクトロンは熱処...
同時にスウェーデンのSiCエピタキシャル成膜装置メーカーと販売代理店契約を結び、同装置の販売も開始した。... ALD装置は1サイクルで1・2オングストロームという1原子層レベルで成膜ができるのが特徴...
【CI確立】 1949年創業の栗田製作所(京都府宇治田原町)は、パルス電源やプラズマ発生装置、成膜装置などを手がけるモノづくり企業だ。... ここでようやく高周波・高...
