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高知工大と住重、成膜と低温・高速酸化を連続処理 触媒など機能性材開発に期待
(2017/2/14 05:00)
【高知】高知工科大学総合研究所マテリアルデザインセンターと住友重機械工業技術研究所は、成膜プロセスと連続して材料や成膜した薄膜を低温・高速に酸化する技術を開発した。プラズマ薄膜成膜装置内で酸素負イオン（Ｏマイナス）を用いた。酸化物セラミックス粉末や薄膜内の酸素欠損（酸素空孔）量を...
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(2017/2/14 05:00)
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