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サムコ、パワー半導体向けＡＬＤ装置を開発・販売−大型化も視野
(2015/12/3 05:00)
サムコはパワー半導体向け製造装置を拡充する。炭化ケイ素（ＳｉＣ）や窒化ガリウム（ＧａＮ）を使ったパワー半導体のゲート酸化膜形成用に、原子層堆積（ＡＬＤ）装置を開...
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(2015/12/3 05:00)
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