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[ 化学・金属・繊維 ]
神鋼、ＣＶＤ式で参入−ＤＬＣ成膜、デンソーから技術
(2016/2/17 05:00)
神戸製鋼所はダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）膜の成膜速度を５倍以上に高めた成膜装置を投入した。デンソーから技術供与を受け、初めて化学気相成長（ＣＶＤ）方式を採用。成膜速度で１時間当たり５マイクロメートル（マイクロは１００万分の１）と、主力の物理気相成長（ＰＶＤ）方式の装置...
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(2016/2/17 05:00)
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- 神戸製鋼所はダイヤモンド・ライク・カーボン（ＤＬＣ）膜の成膜速度を５倍以上に高めた成膜装置を市場投入した。デンソーから技術供与を受け、初めて化学気相成長（ＣＶＤ）方式を採用した。従来方式よりどんな利点が期待されるのか？
