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ギガフォトン、半導体装置解析ソフト提供 （2018/3/2 機械・航空機２）
半導体露光用エキシマレーザー大手のギガフォトン(栃木県小山市、0285・28・8410)はオープンプラットホームの半導体製造装置解析ソフトウエア「FABSCAPE」の提供を始めた。
