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コフロック、半導体装置の洗浄液削減 流量制御クリーンバルブを開発 （2023/12/12 機械・ロボット・航空機２）
ソレノイドアクチュエーター駆動のダイヤフラム式流量制御バルブ「KSFV―100」として商品化し、2024年1月にも市場投入する。
コフロック、半導体洗浄装置向け流量バルブ開発 シールレスで微小残留なし （2022/12/8 機械・ロボット・航空機１）
【京都】コフロック(京都府京田辺市、小島望社長)は、半導体洗浄装置を主ターゲットに業界初のシールレス構造で、パーティクル(微小異物)残留も...
菊池製作所、使い捨て型の投薬用マイクロポンプを量産試作 （2013/3/21）
送液機構はダイヤフラム式で1回の吐出量は250ナノリットル(ナノは10億分の1)と少なく、200ヘルツで駆動するため脈動がほぼない。
高砂電気工業、小型・低消費電力のピエゾマイクロポンプをサンプル出荷 （2008/12/9）
【名古屋】高砂電気工業(名古屋市緑区、浅井直也社長、052・891・2301)は、圧電素子(ピエゾ素子)式のマイクロポンプ(写真)を15日からサンプル出...
