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【立川】カイジョー(東京都羽村市、及川哲夫社長、042・555・2244)は、レジスト剥離やエッチング後の残りかす処理向けノズルタイプ超音波洗浄機「スポットシャワー200キロヘルツ&#...

【川越】エコデザイン(埼玉県小川町、長倉広弥社長、0493・72・6161)は、半導体製造工程のレジスト剥離に適用可能な高濃度オゾン水生成装置を開発する。... オゾンの持つ脱臭・殺菌...

【横浜】野村マイクロ・サイエンスは、環境負荷を低減したレジスト剥離剤を開発した。... レジスト剥離剤は、液晶ディスプレーを製造する際に基板上の配線を保護しているレジストを取り除くために用いる。

この新ラインの中核を担うのは、メッキの部分的保護(マスク)をするための「レジスト装置」と、メッキ加工した上でマスクを剥がす「メッキ・レジスト剥離装置」の2機。 従来の...

新ラインにはメッキの部分的保護(マスク)をするための「レジスト装置=写真」と、メッキを付けた上でマスクを剥がす「メッキ・レジスト剥離装置」の二つの装置を置く。レジスト装置はマス...

同装置で生成した溶液は剥離効果が高いため、レジストを高温で灰にする前処理工程を省けた。... レジスト剥離の溶液使用量を大幅に減らせる装置として開発した。... 同社の装置は過硫酸を生成し、混合溶液の...

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