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半導体検査装置向け電子ビームの提供加速フォトエレクトロンソウル、高精度出力制御（2024/12/19 電機・電子部品・情報・通信１）

現在の測長SEM(走査型電子顕微鏡)に同社の電子ビームを搭載。

半導体、微細化から集積へ「セミコン・ジャパン」最前線（2024/12/13 電機・電子部品・情報・通信）

日立ハイテクは200層以上を積層した3DNAND向けに、これまでよりも高い60キロボルトの高加速電圧で計測する測長SEM(走査型電子顕微鏡)「CV7300」を出展。

「回路線幅の測定に使う『測長SEM』や光学系の検査装置は、半導体の製造投資に連動して発注が入る形だ。

復権半導体/日立ハイテク常務執行役員・小室修氏供給網全体で最新情報共有（2023/12/12 電機・電子部品・情報・通信１）

日立ハイテクはコンダクターエッチング装置で約7%と世界シェア4位級、計測装置の測長走査型電子顕微鏡(SEM)では約70%と同首位を占める(いずれも推定)...

産業TREND/日本製造2030(7)新冷戦時代の半導体輸出規制（2023/4/26 産業TREND）

日本企業がほぼ独占している例を挙げると、半導体ウエハーに感光剤を塗って現像するコータ・デベロッパは東京エレクトロン(TEL)が世界の90%、走査型電子顕微鏡(SEM&#...

ものづくり日本大賞極める(3)経済産業大臣賞（2023/3/9 総合４）

日立ハイテクは走査型電子顕微鏡(SEM)を応用して半導体回路の長さや幅、配線をつなぐ穴の直径などを測る「測長SEM(CD―SEM)」を1984年に製品化して以来、長さを...

測長SEMでは世界シェア8割近くを占める。

日立ハイテク、韓国・台湾に半導体の協創拠点新設 200億円投資（2022/9/28 総合１）

新拠点にはシリコンウエハー上の不要な部分を削り取るエッチング装置をはじめ、回路線幅が設計通りかを測る測長SEMなどを設置。

半導体装置、生産性向上・微細化に商機 5G・IoT追い風（2021/12/21 電機・電子部品・情報・通信１）

同社の主力製品の一つである回路線幅の測定装置「測長SEM」と比べて、100倍の広領域スキャンによる高精度な撮像を実現した。

新社長登場/日立ハイテク・飯泉孝氏端末データ、デジタル化貢献（2021/6/22 電機・電子部品・情報・通信１）

中でも、半導体回路の寸法の測定に使う「測長SEM」の経験が長い》「我々がトップシェアを持つ測長SEMに新規企業が参入する動きが、かつてあった。

日立ハイテク、米オレゴン州に顧客協創拠点を設立（2021/6/2 電機・電子部品・情報・通信１）

新拠点では、同装置のほか、半導体回路の寸法の測定に使う「測長SEM」など、同社が手がける半導体の検査・計測、解析装置向けソリューションの開発も行う。 &...

企業研究/日立ハイテクノロジーズ−社内融合、収益構造を転換（2011/12/26）

(栗下直也) 【注目/商事機能で付加価値創出】回路線幅の測定に使う測長SEMシェアは8割を超す。... 日立ハイテクは半導体の回路線幅を...

IEEE、日立ハイテクの大林社長を表彰−電気工学で功績（2010/6/21）

半導体の回路パターンの測定に利用する測長SEMの研究開発が評価された。

上期で一服するとの意見も多く、第3四半期は注意が必要だ」 ―シェア8割超の測長SEMは堅調ですが、エッチング装置がやや苦戦しています。

日立ハイテク、中計策定−3年後、売上高1兆円へ（2009/12/25）

足元では半導体メーカーが設備投資を再開しており、回路パターンを測定する測長SEM(走査型電子顕微鏡)の受注が急増。

日立ハイテク、日立国際電気と協業−アッシング装置開発へ（2009/12/18）

日立ハイテクは回路パターンを測定する測長走査型電子顕微鏡(SEM)で世界シェア8割弱を握るが、エッチング装置では東京エレクトロンや米アプライド・マテリアルズなどに抑えられている。......

勘所はここ・技術士の目線(49)電界放出型の電子顕微鏡（2009/6/10）

当時のSEMは計器類もスイッチ類もアナログが主であった。... 【新たな領域開く】最近、FE(Field Emission=電界放出型)―SEMという電子銃の...