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OKIなど、MEMS端末の感度20倍 SOIウエハー接合技術確立 （2022/8/18 電機・電子部品・情報・通信１）
OKIとKRYSTAL(山口県宇部市、山口十一郎社長)は17日、圧電単結晶薄膜と絶縁膜上シリコン(SOI)ウエハーの接合技術を確立したと発表した。....
