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完全子会社のSPPテクノロジーズ(東京都千代田区)がシリコン深掘り装置などのMEMS製造装置を手がけることから、設備の使いこなしにも優位性があるとみる。

長瀬産業、リソテックジャパン(埼玉県川口市)、SPPテクノロジーズ(東京都千代田区)、東北大学の寒川誠二教授は共同で、超微細加工ナノ(ナノは10億分の1)...

半導体エッチング、成膜装置を製造する子会社のSPPテクノロジーズ(東京都千代田区)が米国に新会社を設立し、同事業を譲り受ける。... SPTSは2011年7月に経営者による企業買収&#...

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