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産総研と大日印、２００ｍｍウエハーにＰＺＴ薄膜で圧電ＭＥＭＳデバイス作製
(2014/1/29 05:00)
産業技術総合研究所と大日本印刷は、直径２００ミリメートルの大口径ウエハー上に、一般的な圧電材料である...
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(2014/1/29 05:00)
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