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昭和電気研、半導体ウエハー用エッジ検査装置を開発
(2015/12/10 05:00)
【福岡】昭和電気研究所（福岡市西区、河井伴文社長、０９２・８８１・０２３８）は半導体ウエハー用のエッジ検査装置を開発し受注を始めた。ウエハー外周部にある微細なチ...
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(2015/12/10 05:00)
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