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昭和電気研究所、半導体ウエハー用クラック・エッジ検査装置を開発 （2017/3/30 中小企業・地域経済１）
【福岡】昭和電気研究所(福岡市西区、河井伴文社長、092・881・0238)は半導体ウエハー用のクラック・エッジ検査装置を開発した。... 今回の装置は、反りが発生する薄型のウエハーに...
昭和電気研、半導体ウエハー用エッジ検査装置を開発 （2015/12/10 電機・電子部品・情報・通信２）
【福岡】昭和電気研究所(福岡市西区、河井伴文社長、092・881・0238)は半導体ウエハー用のエッジ検査装置を開発し受注を始めた。... 同社が開発したエッジ検査装置は、光学技術と画...
