半導体製造装置業界が活況−３次元ＮＡＮＤ型けん引、ＩｏＴ需要の取り込みカギ

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半導体製造装置業界が活況に沸いている。業界団体のＳＥＭＩが発表した２０１７年の市場予測は１６年予測比９・３％増の４３４億ドルで、１５年以降右肩上がりが続く。各社の受注も軒並み好調だ。業績を押し上げているのは、３次元（３Ｄ）構造のＮＡＮＤ型フラッシュメモリー向けの投資。加えてＩｏＴ（モノのインターネット）技術の普及に伴い、旧世代の装置の需要も増している。各社は成長市場に攻勢をかけている。（政年佐貴恵）

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【明るい見通し】

「３Ｄはメモリー以外への広がりも期待できる。活発な投資は当面続くだろう」。ＳＥＭＩジャパン（東京都千代田区）の中村修代表は明るい見通しを示す。半導体回路の微細化に限界が見えてきたが、一方で記憶素子を積層して容量を増やす３ＤＮＡＮＤフラッシュメモリーの需要は拡大している。

東京エレクトロンの堀哲朗取締役専務執行役員は「１７年３月期のＮＡＮＤ向け受注額は、前期比２倍に成長する」と説明。アドバンテストの吉田芳明社長も「大容量化や高品質への要求が高まっており、１７年度上期までは好況が見込める」とみる。ＮＡＮＤ市場シェア２位の東芝が経営問題を抱えており、その動向が注視されるが「今のところ事業への影響は出ていない」（東京エレクトロンの堀取締役専務執行役員）という。

【中古装置が枯渇】

加えて成長してきたのがＩｏＴ市場だ。直径２００ミリメートルウエハーを加工する旧世代の半導体製造装置は、ＩｏＴに使うセンサーなどに利用される。現在は「中古装置が枯渇し、各社が何年ぶりかに新製品を投入し始めている」（中村代表）ほどだ。

ただ旧式装置の投資額は１００億円単位と、先端装置に比べれば１０分の１以下の規模だ。そこで各社が狙うのが保守サービス事業の強化。新設需要に加え、すでに市場で稼働している装置も含め、サービスで継続的に稼ぐ考えだ。その成果は徐々に数字に表れてきた。

【裾野広がる】

東京エレクトロンの１６年４―１２月期のサービス事業売上高は、前年同期比７％増の１４７０億円になった。日立ハイテクノロジーズも主要顧客向けのサービス事業が好調に推移。アドバンテストは為替の円高の影響を受けながらも、１７年３月期のサービス事業の売上高は前期と同等の２９０億円を見込む。ＳＥＭＩジャパンの中村代表は「ＩｏＴ市場は半導体メーカーだけでなく、エンドユーザーまで裾野が広がりつつある」と力を込める。足元の事業が好調なうちに、どれだけＩｏＴ市場で足場を築けるか。装置メーカーの共通課題となりそうだ。