産総研、薄膜トランジスタアレイの検査速度を４倍に高速化

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  ゲート変調イメージング装置の概略と、TFTの駆動状態を可視化する仕組み（産総研提供）

産業技術総合研究所は１５日、独自開発の薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイの検査技術の検査速度を約４倍に高速化したと発表した。印刷法で製造したディスプレーなどの駆動回路を非破壊で効率的に自動検査可能。印刷法による大面積デバイスの高品質化につながる。

今後、電子ペーパーなどの印刷製造ラインへの実装を目指す。欧州の科学誌オーガニック・エレクトロニクスに掲載された。

ＴＦＴアレイの駆動状態を光学イメージ化して一括検査する技術を改良し、検査面積を従来の１ミリメートル角から３センチメートル角へ広げた。

約３万個のＴＦＴ素子なら、検査時間を従来の１０分以上から３分以内に短縮できる。ストレージキャパシターの検査も可能にした。