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[ トピックス ]
新分野に売って出る／サムコ会長兼社長・辻理氏−「水蒸気プラズマ」技術活用
(2018/4/20 05:00)
半導体・電子部品製造装置メーカーのサムコが、ヘルスケア分野へ本格的に乗り出している。ドライ洗浄装置向けで培ってきた「水蒸気プラズマ」技術を、チップ加工や滅菌に生...
（残り：553文字／本文：633文字）
(2018/4/20 05:00)
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