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レーザーテック／欠陥高速検出 SiCウエハー検査装置
(2024/10/21 05:00)
レーザーテックは、炭化ケイ素（ＳｉＣ）パワー半導体用ウエハーの表面と内部欠陥を高速で同時に検出・分類...
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(2024/10/21 05:00)
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