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最も重要な露光装置は蘭ASMLが市場を独占するものの、検査や感光剤の塗布・現像など周辺装置分野では日本勢が高いシェアを持つ。... 成膜装置やエッチング装置などの工程への波及効果を見込む。 &...

だが、その多くは公開された論文やデータベース、特定のハイスループット装置(高速多量処理装置)に支えられてきた。 ... 例えば、分析装置の稼働状況を自宅から監視するシ...

ジャパンクリエイト、エッチング装置強化 AMTIから事業買収 (2020/12/17 電機・電子部品・情報・通信1)

【川越】ジャパンクリエイト(埼玉県所沢市、上杉昌義社長、04・2938・3111)は、アドバンストマテリアルテクノロジーズ(AMTI、千葉県流山市)の成膜装置事業を買収...

活況!半導体製造装置(1)東京エレクトロン社長・河合利樹氏 (2020/12/3 電機・電子部品・情報・通信1)

半導体製造装置市場が活況を呈している。... 今後デジタル変革(DX)が進めば、テレメトリックスの幅はより広がっていくだろう」 ―岩手県、山梨県の新棟で、エッチング装...

安価な材料で高速に成膜できる「ハイドライド気相成長(HVPE)法」を利用し、太陽電池の高効率化や薄膜化に必要なアルミニウム系材料の成膜装置を作製。成膜したアルミ系材料を太陽電池に導入し...

VACUUM2020真空展 ONLINE/注目の製品・サービス(2) (2020/10/15 機械・ロボット・航空機1)

日立造船/2機能一体、連続成膜ライン 日立造船は反射防止膜・防汚膜一体型ロール・ツー・ロール成膜装置(イメージ)などを提案する。... 成膜レート向上機能も...

昭和真空、新棟稼働 次世代成膜装置を開発 (2020/5/20 機械・航空機2)

足元の電子部品用成膜装置の需要は落ちていないが、電機分野は採用部品の変化が激しい。... クリーン度1万の環境下に、昭和真空の真空成膜装置など20機種を設置し、顧客と連携しつつ依頼実験の受託や次世代製...

エア・ウォーター、SiC基板にGaN成膜 トランジスタ基板開発 (2020/4/15 電機・電子部品・情報・通信1)

エア・ウォーターは14日、独自の炭化ケイ素(SiC)基板に窒化ガリウム(GaN)を成膜した次世代パワートランジスタ用基板を開発したと発表した。... 12年に独自の成膜...

ユーザーが次の一手をどう打つかを把握し、どんな成膜技術や装置が必要かを共同研究で見いだすには開発陣の規模を増やす必要がある」 ―具体的にどう規模を増やすのですか。 ...

伊LPE、SiCエピ成膜装置を投入 (2019/10/3 電機・電子部品・情報・通信1)

伊LPE(ロンバルディア州)は2日、パワー半導体向けの枚葉式炭化ケイ素(SiC)エピ成膜装置「PE1〇6A(イチマルロクエー)」を日本市場に投入すると発...

そのパワーICにはスパッタリング装置とイオン注入装置が用いられ、大容量コンデンサーには巻き取り式真空成膜装置が使用されている。

2019真空展/紙上プレビュー(中)日立造船ほか (2019/8/28 機械・航空機1)

【日立造船/2機能一体、連続成膜技術】 日立造船は反射防止膜・防汚膜一体型ロール・ツー・ロール成膜装置(イメージ)などの技術を提案する。... 生産性と安定...

【高知】高知工科大学大学院の山本哲也教授らと住友重機械工業の技術研究所は、成膜プロセスで酸素負イオンを用いて酸化物半導体を安定させた上で、同一装置内で特性を変え、機能を付加できる技術を開発した。......

2019真空展/紙上プレビュー(上)新明和工業ほか (2019/8/26 機械・ロボット・航空機1)

【オプトラン/半導体光学用水平型スパッタ】 オプトランはスピードメーターやカーナビといった車載パネルの反射防止膜や防汚膜などで実績のある光学膜用スパッタ成膜装置NSC―15...

別会社で同一人物の就任含む 社 名 新社長名 年...

パナソニックSTC、組み込みAI実用化 年度内に産機向け (2019/6/4 電機・電子部品・情報・通信2)

同社の熱処理炉や成膜装置の内部データを分析し、機械の正常時と異常時の違いを見える化(可視化)する仕組みを構築している。 ... 光学式文字読み取り装置(OCR...

有機EL向け水晶式膜厚計、厚さ計測精度10倍 昭和真空と山形大 (2019/4/24 電機・電子部品・情報・通信1)

成膜装置に装着し、有機ELパネルの歩留まりや品質の向上に役立つ。... 装置やパネルのメーカーに提案し、年間で成膜装置10台分(約100台)の受注を目指す。 ... ...

多層硬質膜は、岡谷熱処理工業の開発したバッジ式成膜装置で生成した。多層膜の水素バリアー性に加え、ステンレス基材への密着性を高めることにより高機能を実現した。... また、同多層硬質膜の組成はまだ改良中...

姫路市、開発奨励補助金に4社決定 (2019/3/20 中小企業・地域経済2)

【姫路】兵庫県姫路市は2018年度の「姫路市ものづくり開発奨励補助金」の交付企業に、自社従来装置より性能が向上したスパッタ成膜装置を開発したケニックスなど、市内企業4社を選んだ。

今年度の機械振興賞、経産大臣賞にマツダ (2019/2/18 科学技術・大学)

【中小企業庁長官賞】中井機械工業「スポンジケーキ生地のミキシング工程における品質安定化と自動化」 【機械振興協会会長賞】▽エースシステム、大阪府立大学、IPE「新規な業務用過熱水蒸気...

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