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伊ＬＰＥ、ＳｉＣエピ成膜装置を投入
(2019/10/3 05:00)
伊ＬＰＥ（ロンバルディア州）は２日、パワー半導体向けの枚葉式炭化ケイ素（ＳｉＣ）エピ成膜装置「ＰＥ１...
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(2019/10/3 05:00)
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