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有機ＥＬ向け水晶式膜厚計、厚さ計測精度10倍 昭和真空と山形大
(2019/4/24 05:00)
【相模原】昭和真空と山形大学の城戸研究室（城戸淳二卓越研究教授）は、有機ＥＬの成膜工程で高精度に膜厚を計測する「有機ＥＬ用水晶式膜厚計」を開発した。膜厚計測に使...
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(2019/4/24 05:00)
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