VACUUM2020真空展 ONLINE／注目の製品・サービス（２）

日立造船／２機能一体、連続成膜ライン

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日立造船は反射防止膜・防汚膜一体型ロール・ツー・ロール成膜装置（イメージ）などを提案する。作った膜はデジタル端末のディスプレーや各種インストルメントパネルなどに用いられ、反射防止、撥水（はっすい）、指紋などによる汚れを防ぐ効果を高める。２機能一体型で製造ラインの小型化、製造時間短縮、コスト削減に貢献する。

東京電子／高品質のＤＬＣ成膜を可能に

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東京電子（東京都国分寺市、０４２・３２９・５０９０）は、スパッタ用パルス電源「ＨｉＰＩＭＳ用電源＝写真」を出品する。スパッタリングの課題であるアーク異常放電を抑制。成膜レート向上機能も備え、高品質のダイヤモンドライクカーボン（ＤＬＣ）成膜を可能にした。バイポーラ（双極）方式として動作できる。

ソナスリンク／リーク不良の受託検査サービス

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ソナスリンク（横浜市緑区、０４５・４７９・１７３５）は、「ヘリウムリークディテクタ」を用いたリーク（漏れ）受託検査サービス（写真は検査の様子）を出展する。リークが発生した不良品の調査分析や、研究開発途中の製品の気密検査、加熱や冷凍などのテストを行った製品の気密検査などについて展示する。

フォンアルデンヌジャパン／ガラス製膜装置用エンドブロック

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フォンアルデンヌジャパン（東京都大田区、０３・６４３５・１７００）は、ガラス製膜システム用のドロップインエンドブロック「Ｘシリーズ　エンドブロック＝写真」を出展する。アップグレードや改造に利用でき、特定のパラメーターを満たす他の製膜システムにも対応。メンテナンスが容易で、ダウンタイムを削減する。

ジェー・エー・ウーラム・ジャパン／非接触・非破壊で薄膜材料解析

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ジェー・エー・ウーラム・ジャパン（東京都杉並区、０３・３２２０・５８７１）は、多様な薄膜材料の解析ツール「ｉＳＥ（ｉｎ―ｓｉｔｕ用高速分光エリプソメーター）＝写真」を展示する。非接触・非破壊で薄膜の成膜過程をリアルタイムでモニタリングできる。特に多層構造を含むデバイスの非破壊評価ニーズに応える。