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ロボットの視覚センサーなどに使う微小電気機械システム(MEMS)力センサーと蛍光顕微鏡を組み合わせた手法を開発。

「東北大はMEMS(微小電気機械システム)技術を得意としている。

宮崎機械システム(大阪府貝塚市、072・427・7345)本社工場で環境管理・監査の国際規格「ISO14001」の認証を取得した。登録範囲は撚(よ)り線機、伸線機など産...

今年3月をめどに共同で、現地でMEMS(微小電気機械システム)のセミナーを開くほか、学生や研究者、教官の交流も順次進めるという。... プログラムは同コースに毎年120人の入学生を受け...

プラズマによるガスのイオン化が不要で放電による基板損傷が少なく、微小電気機械システム(MEMS)向けや微細加工が要求される分野での利用に適しているという。

IECでは、微小電気機械システム(MEMS)の委員会が新設されたことで全体の8・67%に相当する15に増加。

特にシステムLSIで強い製品を持たない日本勢は、微細化の巨額投資は回収できない。一部には「微小電気機械システム(MEMS)」に活路を見いだす動きも出始めている。

東北大学大学院工学研究科バイオロボティクス専攻の小柳光正教授は、半導体ウエハー上に集積回路(IC)やセンサー、微小電気機械システム(MEMS)、バイオチップなどの異種デ...

ニコンは13日、子会社のニコンエンジニアリング(横浜市神奈川区、永田浩社長、045・320・1311)が微小電気機械システム(MEMS)用の縮小投影露光装置「ミニステッ...

インテグラル・オプティクスは光学系部品を微小電気機械システム(MEMS)技術などで超小型機器に組み込む技術で、同社が強化に乗り出している。

微小電気機械システム(MEMS)と信号処理ICを組み合わせた超小型センサーを実装、用途に応じた機能が搭載できる。

また新棟では極薄半導体ウエハーや微小電気機械システム(MEMS)デバイスの応用開発も行う。

メディア研究所(東京都港区、百束雄一社長、03・5470・9801)は、微小電気機械システム(MEMS)用部品などの製造工程で、超音波を使ってレジスト膜やメタル膜を除去...

製鉄業界向け設備を扱う機械システム本部、工作機械やプレス機械を扱う産業機械本部など5本部体制に移行する予定。... 07年度の売上高は345億円で、うち産機システムは167億円。工作機械ではオークマ、...

例えばMEMS(微小電気機械システム)。

半導体製造装置メーカー大手が、相次ぎ発光ダイオード(LED)や微小電気機械システム(MEMS)向け装置を拡充する。

【同時に市場開拓】 例えば電子部品事業の微小電気機械システム(MEMS)。

今後、薄膜リチウム2次電池はRFIDのほか、微小電気機械システム(MEMS)などの小型電子機器、生体医療機器などへの適用が期待でき、需要急増が見込まれる。

医療・バイオや環境・エネルギー、ロボット、微小電気機械システム(MEMS)などの分野で、よりシステム化した製品を開発する。 ... 機械技術に基盤を置く総合メカトロメーカーを目...

半導体ウエハーに加えて、相補型金属酸化膜半導体(CMOS)イメージセンサーや発光ダイオード(LED)、微小電気機械システム(MEMS)などの検査向けに需...

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