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堀場エステック、エッチング高感度測定半導体向けガス分析計（2024/6/4 機械・ロボット・航空機２）

エッチング時に発生する特定のガスの圧力変化を即時に高感度で測定し、その変化量からエッチング精度を判別できる。... 同分析計「LG―100」はエッチング時に発生するガスの中から、四フッ化ケイ素(...

沸騰・半導体市場素材各社の戦略(10)日本電解、5G・HDI向け銅箔の売上拡大（2021/7/8 素材・医療・ヘルスケア）

【プロセス簡略化】またHDI向けでは、保護材を使わずに、エッチング加工のみで回路形成できる銅箔を提案する。銅の結晶構造をそろえることで、エッチング時の溶解方向を一定に制御。

TOWA、ガラス切断装置に参入−ドライエッチング応用（2014/5/12）

ドライエッチング技術を応用したのが特徴で、強化ガラスであっても高い歩留まりで切断できる。 ... そこで同社は、ドライエッチングによる切断プロセスにより、大判のまま各処理を施した上で...

大日本スクリーン、プリント基板向け直接描画装置を開発（2013/5/21）

従来のフォトマスク方式ではエッチング時に基板が変形してしまうため、直接描画が急速に普及している。

新技術はエッチング時のプラズマ照射で、ガス中の炭素原子とフッ素原子の比率を変える。水素混合とプラズマ照射による比率変更で酸化シリコン膜のエッチングに有効なガスが生成されやすくなる。...

エッチング時の残さも取り除く。... エッチングはGaN薄膜にトランジスタなどを接続する時に、プラズマ放電で薄膜の一部を削り取る。... 今後はエッチング時の欠陥メカニズムを解析し、欠陥ができにくいエ...

広がるグリーン調達/ニチコン−水資源、自然から自然へ循環（2012/10/30）

アルミ箔をエッチング加工する工程で繰り返し洗浄に使う純水。... エッチング時の廃液は沈殿、分離を経て汚泥を処理業者に引き取ってもらい、浄化水を工場外へ放出する。

東北大、量子ドット太陽電池で豪を抜き世界最高効率（2012/6/4）

DNAの遺伝情報から均一に複製できる、鉄の微粒子を含有したかご状の微小なたんぱく質(リステリアフェリチン)をエッチング時のマスクとして利用する。