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名大、窒化ガリ薄膜エッチングの欠陥をプラズマで修復する技術を開発
(2012/12/7 05:00)
【名古屋】名古屋大学プラズマナノ工学研究センターの堀勝教授と石川健治教授らは、窒化ガリウム（ＧａＮ）...
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(2012/12/7 05:00)
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