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有機EL向け水晶式膜厚計、厚さ計測精度10倍 昭和真空と山形大 （2019/4/24 電機・電子部品・情報・通信１）
【相模原】昭和真空と山形大学の城戸研究室(城戸淳二卓越研究教授)は、有機ELの成膜工程で高精度に膜厚を計測する「有機EL用水晶式膜厚計」を開発した。... 成膜装置に装着し、有機ELパ...
