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住友化学、韓でフォトレジスト 需要増・BCP対応 (2021/9/1 素材・医療・ヘルスケア)

100%子会社の東友ファインケム益山工場に液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストの製造プラントを建設し、2024年度上期に稼働する。... 大阪工場では既存建屋に液浸ArFと極端...

半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化アルゴン(ArF)露光などに対応する最先端製品の生産能力を19年度比2・25倍に引き上げる。... ...

中国では西安市と常州市に洗浄用薬品の高純度化を行う工場を持っており、その近隣に建屋を建設し、設備を増設する。... 半導体に回路パターンを焼き付ける露光工程向けの感光材「フォトレジスト」は、液浸フッ化...

【カギは感光材料】 半導体の高性能化に伴い、電子配線回路の微細化が進む。... JSRは液浸フッ化アルゴン(ArF)向けフォトレジストで世界シェアトップ、最先端の極端...

JSR、コア営業益600億円 新中計、半導体材料など強化 (2021/3/29 素材・医療・ヘルスケア)

石油化学系事業については事業構造改革を進める方針で、特にエラストマー事業に関してエリック・ジョンソン最高経営責任者(CEO)は「迅速な対応が必要だ」とし、「生産能力の最適化などを進めて...

同設備では、液浸フッ化アルゴン(ArF)や極端紫外線(EUV)プロセス向けレジストを生産する。... 同社は液浸ArFレジストで高いシェアを持つ。

富士フ、24年にEUVレジストのシェア10%へ (2021/1/5 素材・医療・ヘルスケア)

他社と差別化し、本格採用につなげる狙いだ。 ... 液浸フッ化アルゴン(ArF)レジストなどで培った知見も生かす。... 富士フイルムは米国拠点でCMPスラリー...

ニュース拡大鏡/住化、5G関連素材の事業化を加速 (2020/10/26 素材・医療・ヘルスケア)

同技術で生産した半導体は小型化・高性能化でき、情報処理量の多い5G機器向けで需要が増えると期待される。 ... 現在、100層以上の半導体の中でEUV露光はわずか数層で、大半は液浸フ...

化学各社、EUV向け素材の供給体制整備 (2019/6/27 素材・医療・ヘルスケア)

今EUV技術に期待が集まるのは、超高速通信の第5世代通信(5G)の実用化に伴い、半導体の微細化ニーズは一層高まるからだ。EUVは研究開発に長い期間を要し、この間、液浸フッ化アルゴン&#...

東芝と産業技術総合研究所は15日、LSI製造時に使う液浸フッ化アルゴン(ArF)エキシマレーザー露光装置の性能を高める技術を共同開発したと発表した。... 年度内の実用化を目指す。&#...

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