シリコン窒化膜に強く吸着する独自の樹脂を含有した。シリコン窒化膜上に選択的に保護膜を形成しつつ、シリコン酸化膜のエッチング速度に悪影響を与えない。溶かしたい膜と溶かしたくない膜の溶解速度の比である「選...

電子デバイス研究開発用、窒化・金属膜など対応 【京都】サムコは化合物半導体など幅広い電子デバイスでの成膜に対応した原子層堆積(ALD)装置を開発し...

昭和電工は半導体用エッチングガスで世界トップシェア、SKはクリーニングガスや成膜ガスで世界トップシェアを持つ。... 両社は2017年に半導体用高純度ガスを製造販売する合弁会社のSK昭和電工を設立し、...

【京都】サムコはALD(原子層堆積)装置を中心とした薄膜形成装置開発やナノレベル(ナノは10億分の1)の酸化膜、窒化膜などの成膜プロセス技術開発に特...

低ダメージ、低欠陥、低吸収や厚膜、ハイレートの成膜に適している。 ... プラスチックレンズなどの低温プロセスが必要な3次元形状物に適し、反射防止膜のほか加飾膜や吸収膜用途などに対応...

【日立造船/2機能一体、連続成膜技術】 日立造船は反射防止膜・防汚膜一体型ロール・ツー・ロール成膜装置(イメージ)などの技術を提案する。... 2機能一体型...

鉄シリサイド半導体のバンド端吸収や銀膜が高温で安定するように設計を最適化した。... 太陽光吸収層は鉄シリサイド半導体と二酸化ケイ素を組み合わせ、赤外光反射は銀とシリコン窒化膜を組み合わせた。 ...

金属表面にできた窒化膜が、保護層の役割を果たしているとみられる。」 ... 「技術開発で地域を活性化し...

金属表面にできた窒化膜が、保護層の役割を果たしているとみられる。」 ... 「技術開発で地域を活性化し、製品化で...

湾曲基板への成膜に適しており、車載ディスプレーの反射防止膜(ARコート)、車載用ヘッドアップディスプレー(HUD)用光学ミラー向けに利用する。... 今後は自動運転シス...

2017年秋に技術を確立し、その後装置の製品化や量産を検討する。... 開発中の装置では100―150度Cで成膜でき、低温でも高品質の膜を形成できるようになる。... すでに窒化膜や酸化膜は直径300...

自動運転を支える大容量メモリー内蔵のマイコンとして2023年ごろに実用化する。 ... シリコン上に窒化膜を酸化膜で挟んだ3層構造とゲートを載せ、さらにゲート電極を二つに分けた「スプ...

そんな(技術レベルの高い)営業を続けてきたからこそ、今の当社の高い評判がある」 《市場が拡大する一方、寡占化が進む。... だが近年は液体原料を活用した『LS―CVD...

同社はプラズマ窒化やラジカル窒化、高周波誘導加熱など金属表面処理を幅広く手がける。... 竹内社長は「同装置は200度C程度の低温でDLC膜を付けられるため、浸炭処理の上にDLC膜を生成できる。当社で...

高純度ガスは液晶パネルや発光ダイオード(LED)、半導体の成膜や微細加工といった複数の生産工程で使われる。... 昭和電工は半導体の製造工程でポリシリコンの微細加工(エッチング...

昭和電工は22日、発光ダイオード(LED)や液晶パネルの製造工程で窒化膜形成用ガスとして使う高純度アンモニアの年産能力を台湾で従来比4割増の3500トンに増強したと発表した。

【シンクロン/低温で高品質な光学薄膜】 シンクロンは独自開発の「RAS方式」を採用したロードロック式スパッタ成膜装置などを出展する。中型量産用モデルの「RASシリーズ...

【京都】島津製作所は研究開発用に小型の太陽電池反射防止膜成膜装置「SLCMシリーズ」を発売した。... 同シリーズはプラズマ化学気相成長(CVD)方式で太陽電池セルにシリコン窒化膜を形...

半導体・液晶製造工程では洗浄液やエッチング液、窒化膜除去工程での高温リン酸など処理薬液の高精度濃度管理ニーズが高まっている。

【京都】島津製作所は29日、有機エレクトロ・ルミネッセンス(EL)ディスプレー用に、水蒸気透過率が低い窒化膜の成膜技術を確立したと発表した。... 数年以内の実用化を目指す。 ...