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サムコ、低温成膜を実現したプラズマ原子層堆積装置開発
(2022/10/3 05:00)
【京都】サムコは化合物半導体など幅広い電子デバイスでの成膜に対応した原子層堆積（ＡＬＤ）装置を開発し...
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(2022/10/3 05:00)
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