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日本精工、新型ダイレクトドライブモーター開発−真空環境で安定稼働
(2012/12/11 05:00)
日本精工は半導体製造工程などの真空環境下でも高精度に安定稼働する新型ダイレクトドライブモーターを開発...
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(2012/12/11 05:00)
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