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阪大が実証、親水性高分子材被覆ナノダイヤ−銅配線の平坦研磨に効果
(2013/8/27 05:00)
大阪大学大学院工学研究科の高谷裕浩教授らの研究グループは、親水性がある高分子材料のポリグリセロールを...
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(2013/8/27 05:00)
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