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堀場製作所、８成分を同時に測定できる薬液濃度モニター発売
(2015/12/16 05:00)
【京都】堀場製作所は１５日、半導体製造での洗浄やエッチングで用いる硝酸やフッ化水素酸などの薬液を８成分同時に測定できる薬液濃度モニター「ＣＳ―７００＝写真」を２０１６年１月に発売すると発表した。微細化や高集積化が進む半導体製造工程の歩留まり向上や薬液使用量の低減につなげる狙い。
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(2015/12/16 05:00)
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