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[ エレクトロニクス ]
古河電工、プラズマ照射から保護するウエハー保護テープを開発
(2017/3/10 05:00)
古河電気工業は半導体ウエハーの研削工程時やプラズマ照射時にウエハー表面を保護するテープ（写真）を開発した。プラズマを照射してウエハーを切断する新工法が世界的に普...
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(2017/3/10 05:00)
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