旭硝子、フォトマスク材を増産

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  AGCエレクトロニクスの社屋

旭硝子グループのＡＧＣエレクトロニクス（福島県郡山市）は５日、光源に極端紫外線（ＥＵＶ）を用いる露光装置向けにフォトマスクブランクスを増産すると発表した。線幅７ナノメートル（ナノは１０億分の１）世代のような、より微細な回路を形成するニーズの拡大を見込んでいる。投資額や生産能力は非公表。

フォトマスクブランクスはシリコンウエハーに回路を描画する際、回路の原版に使うフォトマスクの材料。