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[ 化学・金属・繊維 ]
半導体高集積化に貢献 高純度化学研、高特性の材料開発
(2018/9/28 05:00)
【川越】高純度化学研究所（埼玉県坂戸市、宝地戸道雄社長、０４９・２８４・１５１１）は、半導体成膜材料において特性を高めた塩化アルミニウム化合物を開発した。成分中の不純物や水分の除去を徹底したことで、ウエハー上にナノ（ナノは１０億分の１）メートル単位の極薄膜をより均一、かつ安定的に...
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(2018/9/28 05:00)
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