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[ エレクトロニクス ]
明電舎、ＡＬＤ成膜技術を開発
(2019/5/23 05:00)
明電舎は、極薄フィルムなどに原子レベルの膜を積層する原子層堆積（ＡＬＤ）成膜技術を開発した（写真）。独自開発のＯＥＲプロセス技術と常温環境下で試料を運ぶキャリア...
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(2019/5/23 05:00)
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