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[ 科学技術・大学 ]
福田結晶技研、複合酸化物で欠陥ない径50ミリ単結晶を開発
(2019/8/5 05:00)
【仙台】福田結晶技術研究所（仙台市青葉区、福田承生社長、０２２・３０３・０１７０）は、窒化ガリウムなどの基板に用いる新規の複合酸化物で、結晶欠陥（転位）が存在しない直径５０ミリメートルの無転位単結晶を開発した。切り出したウエハーのＸ線トポグラフィー（ＸＲＴ）評価では、ほぼ全面無転...
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(2019/8/5 05:00)
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