(2020/10/14 05:00)
フジキン／流量制御、センサー・圧力２方式
フジキン（大阪市北区、０６・６３７２・７１４１）は、流量制御機器として、マスフローコントローラーと呼ぶ熱式流量センサー制御方式のサーマル型と、ガスの圧力を制御することで高精度にガス流量を制御する方式のプレッシャー型を出展する（写真）。ガス供給ライン幅を１０ミリメートルに超小型化した薄型圧力制御式も披露する。
住友重機械工業／圧縮機１台で最大１１台運転可能
住友重機械工業はクライオポンプ「ＳＩＣＥＲＡ＝写真」を出展する。圧縮機１台で最大１１台の８インチポンプを運転できる。８台の同ポンプを稼働した際に、従来製品と比べて消費電力を約４割減らせる。またアルゴンガスの吸蔵量が従来品比２倍に増えた。クライオポンプは真空ポンプの一つで排気速度が速いのも特徴だ。
リガク／高真空・長寿命磁性流体シール
リガク（東京都昭島市、０４２・５４５・８１１１）は、磁性流体シール（写真）を出展。主に半導体・有機ＥＬパネル・太陽電池など先端分野に幅広く使用されており、独自の磁気回路構成で高真空・長寿命・コンパクトな設計を実現できる。過去１０年間の特注引合数は１５００件。長年の実績で最適な真空作りに貢献する。
エドワーズ／高い窒素排気能力、設置に自由度
エドワーズ（千葉県八千代市、０４７・４５８・８８２２）は、大型ターボ分子ポンプ「ｎＥＸＴシリーズ」の新製品を出品する。窒素排気速度毎秒７３０リットルの「ｎＥＸＴ７３０＝写真」と、同９３０リットルの「同９３０」で、排気速度の向上だけでなく、取り付け方向を選ばずに自由に取り付けられるほか、優れた圧縮比を持つ。
ライボルト／メンテ減らせるマルチルーツ型
ライボルト（横浜市港北区、０４５・４７１・３３３０）は、軽量でコンパクトなマルチルーツ型ドライ真空ポンプ「ＥＣＯＤＲＹ２５／３５ｐｌｕｓ＝写真」を出展する。本体コントロールパネルや専用ソフトウエアを使用したリモート制御、モニタリングが可能。低騒音、低消費電力などを実現した。保守、整備が約５年間不要。
(2020/10/14 05:00)
