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三井化、露光用CNTペリクルを量産化 岩国大竹工場を増強
(2024/6/12 05:00)
三井化学は半導体製造用の次世代露光装置で使われるカーボンナノチューブ（ＣＮＴ）ペリクルを量産する。岩...
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(2024/6/12 05:00)
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