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アルバックが第1弾として10月1日に投入するのは、金属や酸化物を基板上に成膜する同社のバッチ式高真空蒸着装置「ei―5」用の診断ソフト「ファビセック」。

容積230リットルのチャンバー、粗びきポンプ2台を備えた真空ユニット、直流(DC)と高周波電源を備えた電源ユニットで構成。... チャンバー内は真空ユニットで5パスカルから1パスカルに...

主に真空装置を用いる物理分析の世界にも、各種の分析装置が存在する。... ただし、分析エリアとして4ミリメートル径の面積が必要だったり、深さ方向の制御がラフだったりしたが、高周波の電源を用いることで細...

超高真空下でウエハーに金属薄膜を付着させ、原子レベルでウエハーを接合する技術で、接合面が結晶化され、金属の特性を維持できる。

理研は、超高真空の極めてクリーンな環境下で銀の単結晶電極表面に1本の単層CNTを蒸着して固定化した。

これまでの改革路線で研究者の潜在力の高さは示されてきた。... 特に超高真空環境下と常温、大気下の研究を橋渡しするような研究が求められている。

高真空で断熱した容器で、液化酸素や窒素の搬送・貯蔵に使われる。... 社長の高橋正一は「最近は円高で輸入品のシェアが高まっている」というが、過去20年の累計実績でみると同社の国内シェアは50%...

【時間など測定】 筆者はメーカーでの真空装置を用いての開発業務の中で、主に高真空装置(10のマイナス4乗パスカル程度で用いる)での、いわゆる自己健診を実施し管理してきた。......

▽シーアンドアイ(茨城県)=糖鎖ポリマーブラシによる光導波路バイオセンサーの開発▽栃木三池(栃木県)=サーボプレスの高度化利用による高張力鋼板(...

真空不要など作成が容易で、候補材料も多いが、まだ基礎的な研究段階だ。 ... これに対し、現世代のシリコン型は高純度シリコンや超高真空が必要。そのため、高コストが欠点で、理論効率限界は25&#...

科学技術賞開発部門は産業総合技術研究所の相浦義弘主任研究員(業績=超高真空用高精度冷却試料ゴニオメーターの開発)ら32件93人、同研究部門は近畿大学の赤坂一之教授(同&...

研究室では、XFELに欠かせない高品質の電子ビームを発生する熱電子銃の開発に取り組んできた。 ... 500キロボルトの高電圧を印加する電子銃の内部は、超高真空であることが条件であるため、ヒー...

「日本に来る外国の研究者は非常に優秀」と感心するのは超高真空装置を製造するアールデック(茨城県つくば市)社長の佐々木友章さん。

センターの中核設備は、同社の超高真空装置に米ケースペースの4表面分析機器を組み合わせたもの(写真)。

クライオポンプは、空気中の異物を分子レベルで除去して高真空状態をつくる装置で、半導体メーカーに納めている。

奈良先端科学技術大学院大学物質創成科学研究科の藤木道也教授らの研究グループは、環状構造を持つ発光高分子の作製に成功した。... 従来、このような環状構造を持つ材料の作製には、高真空装置や微細加工装置を...

日本精工は真空環境で稼働する産業用ロボット向けの玉軸受を発売した。潤滑方式を改良、真空中での潤滑剤のの揮発を防ぎ、耐久性は従来品の5倍に伸ばした。... 約1000億分の1気圧の超高真空と、100度C...

【水戸】エイブイシー(茨城県ひたちなか市、千葉昭雄社長、029・272・4711)は、高結晶の有機薄膜を成膜する有機エバポレーター「AEV―OD」を発売した。フライトチューブを採用し、...

イオンプレーティングは高真空状態で金属を蒸発させ、プラズマによりイオン化して被膜対象に衝突させて付着させる被膜法。

同社の超高真空蒸着装置に取り付けて使う。... 超高真空蒸着装置は真空を利用した実験装置で、真空状態を維持するために実験を行わない夜間や休日でも作動させる必要がある。... エコバルブシステムは超高真...

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