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記事検索結果
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クリーンルーム内で露光装置などを用いて荷重センサーを試作し、微小電気機械システム(MEMS)加工についての理解を深める。
大日本印刷は微小電気機械システム(MEMS)で、厚さ1ミリメートルと従来より20%程度薄型化した3軸加速度センサーを開発した。
サイズが数マイクロメートル(マイクロは100万分の1)の微小な部品の製造ラインでの非接触検査をはじめ、生きた細胞の観察、液体の噴霧やマイクロマシンの挙動のチェックなどに応用できる。&#...
【神戸】ノーリツは19日、入浴時に微小な気泡で温浴やリラックスなどの効果が得られる浴槽循環アダプター「MB2シリーズ」を9月1日に発売すると発表した。
「加工形状が大きくなるほど(高精度加工に必要な)微小な放電を起こすことは難しかった」(EDM事業部EDM開発セクションの栗原治弥電装開発グループマネージャ)。
NEC SCHOTTコンポーネンツ(滋賀県甲賀市、ラウパッハ―スミヤ・ヨーク社長、0748・63・6610)は、微小電気機械システム(MEMS)用8インチの極細...
加工機の微小な変位(挙動)を常時把握できる操作環境(オペレーターインターフェース)で、作業者が即座に補正をかけられる。... 加工室内や機体鋳物内部、切削液、モーターな...
ドイツ特殊ガラスメーカーのショットは、約0・1ミリメートル厚の微小電気機械システム(MEMS)用ガラスウエハーを8月上旬から発売する。
市場の将来を考えてみても、電気自動車やMEMS(微小電気機械システム)の普及など、同社の検査・分析能力を必要とする領域が広がりつつある。
どこまで微小な領域を分析できるかを示すオージェ分析時分解能は現行装置が35ナノメートル(ナノは10億分の1)なのに対し、新装置は8ナノメートルを予定。
同装置はCADデータを基に直接描画するためフォトマスクが不要で、半導体や微小電気機械システム(MEMS)の製造開発での期間短縮やコスト削減が期待できる。
