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記事検索結果
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0・001パスカルの高真空を安定維持し、ウエハーを高精度でプロービングする。... プローブ装置をチャンバー内に組み込み、外部からシャフトで操作することで、圧力変化の少ない高真空状態を作り出した。.....
2012年には高真空中で金属原子を表面に付着させるPVDなど、熱処理以外の表面処理を手がける第2工場を建設。... 売上高は09年3月期の18億円見込みから、2010年3月期に20億円を目指し、第2工...
導入費用の高さから排出量の大半を占める中小工場では導入が進まず、燃焼で二酸化炭素(CO2)を多量に発生するため、環境被害も懸念される。 ... まず除去溶液を内側に注入した一つ...
関西学院大学はエピクエスト(京都市南区、前野弘志社長、075・693・3356)、サンリック(東京都大田区、吉岡隆社長、03・3790・0061)と共同で、製造プロセス...
熱に対する安定性や純度の高さなどが有機ELパネルの長寿命化につながると評価された。... また、蒸着時の熱分解によるガスの発生を抑え、高真空状態を維持できる。
