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記事検索結果
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阪大接合科学研究所の節原裕一教授と共同で、基板上にアモルファスシリコンとマイクロクリスタル(微結晶)シリコンを成膜する装置を開発した。通常の真空成膜装置と同じ放電周波数で微結晶シリコン...
MRセンサーは折り畳み式携帯電話の開閉を検出し、液晶表示装置の電源切り替えなどに使われる。MRセンサーなどを製造するNEC山梨(山梨県大月市)の工場に数億円を投じて、成膜装置と試験装置...
計測機器事業は質量分析計、医用機器事業はX線撮影装置などが貢献した。航空、産業機器事業は民間航空機向け部品やターボ分子ポンプ、太陽電池成膜装置などが好調だった。
これまでも排水リサイクルを進め、50%以上の排水を再利用していたが、逆浸透膜方式の処理装置などを増設し、排水の生じないメッキ工場とする。 ... 現在はイオン交換式の水回収装置で、排水...
さらに製造過程で品質をチェックするインライン検査装置の製品化を進める。... 半導体製造装置メーカーの増産要求にも対応できるようになる。今後広がると見られる薄膜太陽電池の成膜装置にはターボ分子ポンプが...
半導体、半導体製造装置、薄型ディスプレーメーカーに向け初年度15台の販売を予定する。 ... エッチングや成膜装置など、真空プロセス装置のチャンバー表面の汚れを取り除くクリーニング作業の評価を...
【京都】栗田製作所(京都府宇治田原町、栗田好雄社長、0774・88・4811)は、同社従来品の体積比で約4倍の加工対象物(ワーク)にダイヤモンドライクカーボン(...
【神戸】アイデン(神戸市西区、上谷健一社長、078・994・1400)は、温度調節機能を付けた交互吸着法による多層製膜装置(写真)を開発し、信州大学繊維学部の木村睦准教...
