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ウエハー研磨は、ウエハーの平たん化に焦点を当てる。ウエハー厚のバラつきを示すTTVは、シリコンウエハーで0・5マイクロメートル(マイクロは100万分の1)。... ウエハーの薄化では、...

4―6インチの小口径ウエハーを生産している。... スライス後のウエハー端の面取りでは、これまで面取り用ホイールにウエハーを当てる角度を変えて側面と上下の3方向を削っていた。... スライス後のウエハ...

沸騰・半導体市場素材各社の戦略(32)カーリットHD、MEMS向け（2021/12/23 素材・医療・ヘルスケア２）

これを実現するため、同社はウエハー厚を高精度にモニタリングしながら表面を研削する装置を4月に導入し、量産技術を確立した。平坦度1マイクロメートル以下のウエハーは8、12イ...

シリコンテクノ、MEMS向け超高平坦ウエハーを事業化（2021/12/3 素材・医療・ヘルスケア）

MEMS用途には、平坦度の高いウエハーが求められるため、超高平坦ウエハーを事業化した。ウエハー厚を高精度にモニタリングしながら表面を研削する装置を4月に導入し、独自に超高...

第27回「中小企業優秀新技術・新製品賞」(1) （2015/4/14）

《中小企業庁長官賞》【タンケンシールセーコウ/非接触吸着盤「ノンコンタクトチャッキング」】タンケンシールセーコウの「非接触吸着盤=写真」は半導...

勝つ/ジャステム(1)ウエハー厚、非接触で測定（2009/9/15）

ジャステムはシリコンウエハーの厚さ測定機や、ウエハー移載機など、主に半導体業界に自社ブランドの製品を納入している。... ウエハーの表裏面ともに非接触のまま厚さを測定できる装置だ。... ただ、台にウ...