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電子銃小型化、産業向けに ウエハー検査短縮 大型放射光施設(SPring―8)などの巨大加速器には、電子ビームを照射する電子銃が装備されている。... 実際、...

レーザーテックはウエハーの表面と内部の欠陥を検査できる「SiCウエハー欠陥検査・レビュー装置SICA88シリーズ」を2015年9月の発売から1年間で10台納入した。

【横浜】レーザーテックは13日、ウエハー欠陥検査装置の新シリーズ「M5640=写真」を発売したと発表した。... 同装置はウエハー製造工程で形成されるキラー欠陥(デバイス性能を阻害する...

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